Карактеристике дифузних силицијумских сензора притиска

У поређењу са сензорима других принципа, сензори притиска дифузног силикона имају следеће карактеристике:

1. Погодно за израду сензора малог домета. Пиезорезистивни ефекат отпорника осетљивог на силу силицијумског чипа нема мртву зону у ниском опсегу близу нуле, а опсег сензора притиска може бити само неколико Кпа.

2. Висока излазна осетљивост. Фактор осетљивости силиконског отпора на деформацију је 50-100 пута већи од оног код металног мерача напрезања, тако да је осетљивост одговарајућег сензора веома висока, а општи излазни опсег је око 100мв. Због тога нема посебних захтева за коло интерфејса и погодније је за коришћење.

3. Висока прецизност. Пошто се сенсинг, осетљива конверзија и детекција сензора реализују истом компонентом, не постоји међувеза конверзије, а грешке поновљивости и хистерезе су мале. Пошто сам монокристални силицијум има велику крутост и малу деформацију, добра линеарност је загарантована.

4. Због ниске деформације радне јединице до реда микронапрезања, максимално померање еластичног чипа је реда суб-микрона, тако да нема хабања, нема замора, нема старења и сервисирања. животни век је чак 1×103 циклуса притиска, са стабилним перформансама и високом поузданошћу.

5. Због одличних хемијских антикорозивних перформанси силицијума, чак и неизоловани дифузни силицијумски сензори притиска имају значајан степен способности прилагођавања различитим медијима.

6. Пошто чип усваја интегрисану технологију и нема делове за пренос, мале је величине и мале тежине.

Било какво питање о нашојУПБ1силицијумски предајник притиска, контактирајтеСтелла Менг.